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eni 당사는 1992년 국내에서 ENI Product RF Generator & Matching Network 수리를 시작하였으며, 풍부한 경험 및 수리 이력(전산) Data을 바탕으로 고품질의 서비스가 가능합니다. 특히 반도체 제조장비 유지 보수의 풍부한 경험을 갖춘 우수한 엔지니어 구성으로 반도체 제조장비의 RF및 Matching Network에 관련된 어떠한 문제도 해결이 가능합니다.

ENI RF Generator Repair Service Item

OEM Product : OEM-6~OEM-50 Series
Frequency : 13.56 MHZ
POWER 600W ~ 5000W
ACG Product : ACG-3~ACG-10B Series
Frequency : 13.56 MHZ
POWER 300W ~ 1000W
Genesis Product : GHW-12~GHW-80 Series
Frequency : 1.8 MHZ ~ 27.12 MHZ
POWER 1200W ~ 8000W

ENI Matchworks Repair Service Item

MW Product : MW-5D,10D,25D,50
Frequency : 13.56 MHZ
POWER : 500W ,5000W
MWD/M Product : MWD-25LD,55LD,70LD ,MWM-25
Frequency : 13.56 MHZ , 2MHZ
POWER :2500W ~ 7000W
MWH Product : MWH-5,100
Frequency : 13.56 MHZ
POWER :500W ~ 10000W

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